二手 FSM / FRONTIER SEMICONDUCTOR 128NT #9311397 待售

FSM/FRONTIER SEMICONDUCTOR 128NT是一種晶圓測試和計量設備,旨在提供端到端的工藝能力。該系統使芯片制造商能夠識別產量損失的潛在根源並改善工藝條件。FSM 128NT包括各種硬件、軟件和計量工具。該裝置利用氣動控制的機械級來處理直徑達8英寸的晶片，同時還允許對平坦度和傾斜度進行微調。這些階段設計為與各類測試和計量系統兼容，包括聚焦離子束、故障分析、光學檢查、導電原子力顯微鏡和其他探測技術。該機還具有可調節卡盤溫度範圍的多通道浮動卡盤，可控制在1°C至300 °C，允許在測試各類材料和工藝時具有靈活性。此外，它的模版圖生成器使用戶能夠輕松選擇、編輯和保存晶圓圖，並且還包括了一個樣本位置識別工具，允許更高精度的快速樣本處理。包含的計量資產具有集成的光學計量模型，可以使用各種激光幹涉技術測量圖樣特征，以確定蝕刻深度、CD均勻性和其他參數。前沿半導體128-NT還提供數據相關性，以便通過多個測試和計量渠道進行檢測和跟蹤。這樣可以確保在每個階段捕獲的數據正確關聯,並且可以隨時間進行跟蹤。該設備還具有可擴展的平臺，可以設計以滿足特定的生產線要求。這減少了對單獨晶圓測試和計量系統的需求，並允許用戶根據需要定制和重新配置系統。128NT是一個全面的晶圓測試和計量單元，提供了達到最高產量和性能水平所必需的工具和功能。它結合了硬件、軟件和計量工具,非常適合研發和生產級別的應用。