二手 FSM / FRONTIER SEMICONDUCTOR 500 Series #9293061 待售

FSM/FRONTIER SEMICONDUCTOR 500系列是一款先進的晶圓測試和計量設備，旨在為半導體器件提供精確的測量。其主要用途是識別和分析各種缺陷，並提供一系列預防和減少缺陷的解決方案。該系統由一個主體、自感階段、探針臂樣品以及各種模塊和附件組成。FSM 500系列的主體配備了電動XYZ級、真空單元、慣性箱、濺射機和兩臺樣機。該級的掃描範圍為25毫米x 20毫米，能夠處理多達8個晶圓，尺寸從4英寸到8英寸的晶圓。真空工具允許將晶片安全安裝在設備內。此外,內置慣性箱還允許精確的樣品放置和方向。濺射資產然後利用稀有氣體產生一層氧氣薄膜，允許對晶圓進行優化測試。FRONTIER SEMICONDUCTOR 500系列的臂沿著X、Y和Z軸移動，運動範圍分別為20 mm和140 mm。它們遵循動態和靜態補償預緊力模型的設計原理，以最大程度地減少摩擦。手臂還配備了空氣軸承，以減少表面接觸，從而減少磨損和可靠操作。500系列的模塊和附件包括石英加工站、離子銑削系統和晶圓映射系統。石英加工站用於進行蝕刻、沈積、表面活化等多種化學表面處理。離子銑削設備可以進行精確的缺陷分析和離子植入。晶圓映射系統利用精確的激光單元來測量晶圓的精確位置。總體而言，FSM/FRONTIER SEMICONDUCTOR 500系列是一款先進的晶圓測試和計量機器，旨在為半導體器件提供精確的測量。它具有主體、自感階段、探針臂樣品以及各種模塊和附件，除了提供減少或防止缺陷的解決方案外，還能夠快速、準確地識別和分析各種缺陷。