二手 FSM / FRONTIER SEMICONDUCTOR 900TC-VAC #197464 待售

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FSM / FRONTIER SEMICONDUCTOR 900TC-VAC
已售出
ID: 197464
晶圓大小: 8"
Integrated metrology annealing chamber, 8".
FSM(FRONTIER SEMICONDUCTOR)FSM/FRONTIER SEMICONDUCTOR 900TC-VAC是一種先進的晶圓測試和計量系統,旨在方便實驗室和在線操作,用於過程控制監測和高級故障分析。適用於先進技術節點,在所有基材上從28nm到300 nm不等。FSM 900TC-VAC是多用途且高度可定制的,它提供了一套可轉移的解決方案,並具有與應用程序匹配的廣泛工具配置。它的模塊化設計使它能夠輕松地集成到現有的清潔室基礎架構中,使其易於部署。該系統采用了一套全面的計量、測試和成像能力,包括高速直流測試儀、光學剖面儀、自動顯微鏡和自動粒子計數器/分析儀,均裝在裝甲和環境密封的房屋中。FRONTIER SEMICONDUCTOR 900TC-VAC的計量工具能夠測量廣泛的電氣和地形參數,包括電阻率、電容、厚度和地形。它具有廣泛的動態範圍,可以測量厚度從2微米到10mm的樣品,具有高分辨率和重復性。它具有集成的模擬器和自動化的樣品處理功能,能夠在具有挑戰性的大批量生產環境中進行快速可靠的測試。900TC-VAC的高級成像功能可用於廣泛的故障分析。它配備了自動成像站,實現了自動特征識別、變薄和數字成像。板載成像模塊可以進一步配置為與一系列光學檢查方法兼容,如熒光顯微鏡、Microfocus X射線和SEM/EDX。FSM/FRONTIER SEMICONDUCTOR 900TC-VAC用戶友好,具有直觀的圖形用戶界面,並提供廣泛的數據提取和分析功能。它是一個高度可靠的系統,具有過溫保護、過壓保護和ESD保護功能,可保護設備免受潛在損壞。它還可以與廣泛的外圍配件集成,如樣品轉移機器人和環境室,用於額外的全天候測試和監測。此外,FSM/FRONTIER SEMICONDUCTOR還提供全面的客戶支持和服務合同,以進一步確保持續運行和可靠性。
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