二手 FSM / FRONTIER SEMICONDUCTOR FSM 128NT #9257455 待售

來自FSM的FSM/FRONTIER SEMICONDUCTOR FSM 128NT設備是一個完全集成的晶圓測試和計量系統，旨在實現晶圓處理自動化，並為復雜的設備分析提供可靠的計量數據。該單元采用先進的光學技術、先進的計量技術和強大的軟件算法，對具有多達128個獨立工藝步驟的大型晶圓進行分析。該機器還提供直觀的圖形用戶界面（GUI）,能夠處理新的流程技術以及現有的流程技術。FSM 128NT具有多項先進的技術功能,例如雙光束光刻選項、激光集成測試/計量以及自動晶圓檢查。它的雙光束光刻允許精確的圖樣精度，而它與激光集成的測試/計量則可以實現高分辨率的設備表征。此外，該工具還包括自動晶片檢查功能，在進一步處理之前自動檢測和隔離有缺陷的晶片。該系統先進的光學技術包括激光衍射圖樣識別掃描儀，可實時快速地在晶片上對沈積圖樣和未沈積圖樣進行成像。它還具有高速激光光掩模檢測晶圓映射，用於精確探測臨界幾何形狀。數字圖像處理和高放大光學的應用進一步簡化了圖樣缺陷檢測和臨界幾何分析。FRONTIER SEMICONDUCTOR 128-NT還采用了三種先進的濕臺式技術；一個自旋塗層模塊，一個帶綜合表面分析的濕條紋模塊，以及一個針頭檢測站。旋轉塗層模塊自動將一層濕塗層或幹塗層自動分配到晶片表面。濕條紋模塊利用高精度的運動和處理技術來進行堅固的表面分析。針頭檢測站用於根據晶圓上任何位置的大小和模式識別來檢測針頭。最後，該資產結合了強大的軟件算法，使流程律師能夠通過幾次按鍵設置流程步驟的自動化序列。軟件對晶片進行深入分析，並提供準確的計量數據，快速可靠。它還結合了用戶友好的圖形用戶界面，使用戶可以很容易地設置晶圓進程和分析數據。FSM FSM 128NT具有所有這些功能,是制造設施的理想解決方案,需要通過自動晶圓處理獲得可靠的結果。