二手 GEMETEC Elymat III #9137889 待售

GEMETEC Elymat III是一種晶圓測試和計量設備，旨在增強晶圓檢測和生產過程控制。它使用戶能夠精確準確地測量晶片的關鍵電氣、物理和尺寸參數,從而能夠對晶片中的每個設備進行詳細檢查。通過自動化和非接觸式光學制圖，實現了全晶圓成像和數據提取。該系統采用先進的單色數字成像，為用戶提供極其精確的成像分辨率。機械平臺允許以各種配置進行晶圓掃描。該單元與寬範圍的晶圓尺寸兼容，包括150 mm、200 mm、250 mm和600mm。此外,它的自動模式檢查功能確保用戶能夠快速準確地測量晶片上的任何打印特征。Elymat III的核心是其相機單元，它采用了先進的基於光柵的成像技術。這臺機器能夠測量晶片或其他高分辨率材料上的任何特征。基於光柵的成像還允許電氣設備測試，支持各種設備類型，如網格、標準單元和高密度結構。該工具的另一個關鍵特征是其非接觸式光學映射。這項技術能夠在幾分鐘內完成全晶片成像和數據提取，為用戶提供對整個晶片的準確評估。非接觸式光學映射還允許用戶快速、輕松地驗證良好特性的存在、檢測缺陷以及識別電耦合問題。GEMETEC Elymat III為晶圓上的每個特征提供準確一致的測量。它支持廣泛的電氣和物理參數，如電阻率、電容和介電常數。該資產還提供3D-profile特性和汙染監測，使用戶能夠快速優化工藝條件，最大限度地減少晶圓上的汙染。總體而言,Elymat III提供晶圓測試和計量功能,具有可靠的準確性和可重復性。其廣泛的特點，加上其非接觸式光學制圖技術，使其成為加強晶圓檢測和過程控制的理想模型。