二手 HANRA HRI 580L #293635047 待售

HANRA HRI 580L是一種先進的晶圓測試和計量設備，用於半導體工業。它集成了最新的光學、機器視覺和機器人技術，以高精度和精確度檢查和加工晶圓表面。該系統能夠測量半導體器件制造中使用的各種材料的各種特性，如反射率、表面平坦度、輪廓、厚度和摻雜濃度。HRI 580L由刀具底座、晶圓操作工具和圖像分析單元組成。刀座配有旋轉定位臺，能夠精確定位晶圓，連續運動高達1度旋轉。它還包含X-Y-Z軸，允許精確的晶圓對準，以及一個晶圓冰球來固定和移動晶圓。晶圓操縱工具用於在反向散射電子成像機上精確移動和操縱晶圓。圖像分析工具包括光學顯微鏡、熒光顯微鏡和激光幹涉儀，用於測量表面平面度、摻雜劑和表面地形。HANRA HRI 580L提供精確測試、映射和成像功能。資產配備了全自動校準，能夠進行高精度的測量和處理。光學顯微鏡和激光幹涉儀測量晶圓表面的反射率特性，而熒光顯微鏡則能對摻雜濃度進行成像。模型的映射功能使拍攝多個高分辨率圖像成為可能,從而可以對晶圓表面進行詳細分析並測試缺陷。HRI 580L還提供數據采集和分析功能。它可以從多個來源獲取和分析各種數據，包括波形、圖像和統計分析。用戶友好的軟件支持數據同步,這對於過程控制非常有用。軟件還可以存儲數據供以後使用。HANRA HRI 580L是一種先進的晶圓測試和計量設備，提供精確準確的測量和處理能力。它具有自動校準系統、光學顯微鏡、激光幹涉儀、熒光顯微鏡和自動制圖。該單元可以從多個來源獲取各種數據，從而可以進行詳細的分析和過程控制。