二手 HANRA HRI 580L #293635049 待售

ID: 293635049
Inspection system.
HANRA HRI 580L是一種專為表征半導體材料而設計的晶圓測試和計量設備。該系統具有獨特設計的光學顯微鏡、激光掃描顯微鏡和可自動測試晶片的寫入站。該單元適用於納米電子器件的納米級觀測,測量地形、電性能等。激光掃描顯微鏡(LSM)模塊利用光學顯微鏡結合激光光學測量地形,允許在大面積圖像上低至1nm的分辨率。這臺機器能夠識別晶片缺陷和監測表面形態.LSM還通過使用激光定位技術確保掃描圖像包含精確的坐標。HRI 580L的自動寫入站無需手動操作即可實現高度精確的寫入任務。它使用與所需寫入軌跡對齊的可校正射流,並且可以達到最小微米精確寫入分辨率。該寫入站支持晶片級自動化任務,如地形分析、叠加校準和電氣特性分析。HANRA HRI 580L專為高端測試和計量應用而設計,並提供了此類用途所需的所有功能。它采用集成的觸摸面板界面和確保準確性和可靠性的高規格組件。該工具的工作區域直徑最大為10英寸,允許較大任務的可擴展性。此外,資產具有較大的動態範圍,允許更大的靈活性和應用範圍。總體而言,HRI 580L是一個專門的晶圓測試和計量模型,設計用於表征半導體材料。該設備由設計獨特的光學顯微鏡、激光掃描顯微鏡和自動書寫站組成。這種特性的組合使得能夠對納米電器件的納米級觀測、地形、電氣特性等進行準確、可靠的測試。因此,該系統是一個高端解決方案,適用於廣泛的晶圓測試和計量應用。
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