二手 HDI IPS-6000 / SRA-FA #128060 待售
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ID: 128060
Surface reflectance analyzer
Multi-channel
Full surface scans in less than 10 seconds
Patented temperature stabilized laser technology
Simultaneous S, P, Phase
Scattered light acquisition
Sub-angstrom sensitivity to overcoat and lubricant variations
Magnetic Imaging
0.1 Micron x 0.003 degree precision
3.2 Micron resolution
Air bearing spindle with integrated vacuum clamp for fast load / unload of disks
Includes:
65mm and 95mm collets for disks
Missing part:
Knob on back of analyzer.
HDI IPS-6000/SRA-FA是一種高精度自動化晶片測試和計量設備，設計用於檢查半導體晶片和集成電路（ICs）是否存在缺陷和結構缺陷。該系統包括電氣測試和光學檢查能力，能夠快速可靠地測量晶圓厚度、平坦度、圖案線性和其他重要特性。該IPS-6000采用模塊化多軸設計,集成了運動傳感器,並采用小巧輕巧的設計,便於安裝和維護。該單元包括一臺先進的運動控制機，用於在測量操作過程中精確控制舞臺的掃描速度、運動範圍和定位。該工具還可以配置為連續順序測量多個晶片，從而提高精度和吞吐量。該資產利用具有先進光學器件的相機模型和高性能成像設備掃描整個晶片的缺陷和缺陷。該系統設計用於各種環境,從潔凈室安裝到高濕度環境。為定制測量重新配置也很容易，包括精確測量圖案和微結構的定義。除了光學檢測單元外，IPS-6000還包含一臺同時具有模擬和數字接口功能的電氣測試機。這允許對薄膜晶體管（TFT）和其他有源矩陣元件進行電氣測試,以及標準晶圓級電氣性能測量。最後，IPS-6000/SRA-FA還包括用於晶片和集成電路綜合評估的FA數據分析軟件。該軟件包括多種分析功能，包括實時缺陷檢測、缺陷評估、跟蹤和過程監控。該軟件可針對特定客戶的特殊測試和指標進行定制,使其成為質量保證必不可少的組成部分。
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