二手 HEIDENHAIN ND 281B #293643227 待售

HEIDENHAIN ND 281B是一種功能齊全的晶片測試和計量設備，利用激光幹涉技術無損測量半導體晶片的局部表面特性。該系統為生成有關表面輪廓、表面缺陷和表面地形的數據提供了長期可重復性和準確性。ND 281B包括500 mm x 600 mm的高精度平移級，具有5 nm的步長分辨率，允許高精度和可重復性。它還包括一個具有亞微米範圍分辨率的平面內運動單元。此外，該機器還使用工作帶寬高達100 kHz的激光幹涉儀進行亞微米分辨率和快速測量。該工具與各種目標兼容，如油和空氣配置，與任何目標場範圍兼容。對於測試運行,資產提供高達0.1 mW/cm2的高強度照明。對於掃描和計量，模型提供了三種不同的掃描方式：2D-scanning、3D-scanning和偏移掃描，可用於在特定模式內進行測量。掃描模式是用一種高級圖形編程語言生成的，很容易適應不同的物理布局。此外，該設備還可用於測試多層半導體樣品，並能夠在高密度器件上進行標準脈沖測量。該系統的軟件提供了一套全面的圖像分析、數據匯總和測量工具，用於分析和解釋測量中的數據。該軟件還提供圖形後處理功能,如曲線擬合,用於其他數據分析。此外，該軟件為輸入和輸出提供了一個高級數據通信接口，便於與現有系統和數據庫集成。總體而言，HEIDENHAIN ND 281B晶片測試和計量單元是測量半導體晶片局部表面特性的有力工具。其卓越的掃描能力和圖形編程語言使高密度設備能夠快速準確的測量，而其簡單化的軟件則提供全面的圖像分析和數據匯總功能，使其適合一系列應用。