二手 HIKE VR300DLF #9397726 待售
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HIKE VR300DLF是一種晶圓測試和計量設備,其設計目的是在廣泛的過程節點中提供對微晶圓特性的準確和全面的視圖。該系統具有動態數字成像和尺寸測試功能,可以對每個模具進行高度精確的測量和表征。該單元實時收集和顯示各種圖像數據,並提供晶圓表面的數字圖像以及相關的性能數據。VR300DLF允許使用高分辨率相機和兩個大型基準和模具識別傳感器進行自動晶片分析和探測。這項先進的技術可以識別所有流程節點的缺陷,無論其大小如何。Fidicial recognition and die data is used to create a map of the wafer and track measurements with high accuract.該機還配備了先進的高速對準工具,具有亞微米分辨率。對準資產采用雙攝像頭比較技術和多工具自動對焦,提高精度。這樣可以與現有模具進行更精確的對齊,並在高缺陷密度應用的背景下提高精度。HIKE VR300DLF具有廣泛的測試方法和性能協議。這些包括晶圓檢查、掃描電子顯微鏡(SEM)成像、透射電子顯微鏡(TEM)成像、元素表征、化學機械平面化(CMP)測試、電子束測試、局部電測、X射線衍射(XRD)映射。總體而言,VR300DLF模型是一種下一代晶圓測試和計量設備,它將現有工藝節點技術的自動探測和增強與先進的圖像識別、模具對準和性能協議相結合,提供卓越的準確性和結果質量。該系統非常適合高缺陷檢測、故障檢測和叠加對齊精度至關重要的流程節點應用。
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