二手 HITACHI PD 2000 #293752269 待售

HITACHI PD 2000是一種高度先進的晶圓測試和計量設備。它旨在精確測量集成電路晶片的物理特性。該系統能夠測量晶片類型、平坦度、步高、總表面積、晶體取向、平面度、表面粗糙度、地形等參數。該單元由一個可容納四個晶片的主軸頭和一個檢測器模塊組成。主軸頭配有高精度光學機器和柔性測試頭工具。探測器模塊能夠檢測各種信號，包括光、紅外、電和聲學信號。資產能夠進行各種各樣的測量。其中包括臨界尺寸的測量、線性頻域反射儀、平面頻域反射儀、電氣參數、光刻產量和光學反向散射成像。該模型還能夠測量表面平坦度和高達三十微米的步進高度。它還設計用於實現非接觸表面測量,如表面輪廓、表面粗糙度和地形。HITACHI PD-2000設備除了具有晶圓測試和計量能力外，還可以用於其他過程，如切割和探測。配備高速、高精度的x-y級，行進範圍為300 x 200 mm，用於晶圓切片和探測。該系統還配備了激光和可移動編碼器，用於高精度對準和放置探頭在晶片上。該單元的其他功能包括工業PC控制器、能量位移電子光譜（EDS）檢測器和具有各種分析特征的計量軟件包。機器還配備了先進的用戶界面，使工具的使用更加方便。總體而言,PD 2000資產提供了非常精確的測試和計量功能。其廣泛的特點使得復雜的晶圓測試和計量過程能夠以高精度和精確度進行。