二手 HITACHI ZA-H200UND #9383303 待售

HITACHI ZA-H200UND是一種晶圓測試和計量設備，設計用於表征生產和制造半導體晶圓。它提供了廣泛的功能，包括濕蝕刻、缺陷分析、粒子檢驗、LEIS（低能離子光譜）和QCM（石英晶體微平衡）。ZA-H200UND有一個直徑543mm的腔室，可容納200個晶圓。系統裝有高速電動機，每分鐘最高可旋轉200轉晶圓。高速電動機與腔室的大孔徑相結合,使HITACHI ZA-H200UND能夠在晶圓處理和計量過程中執行精確的測量,如臨界尺寸（CD）和缺陷成像。該單位的高分辨率探測器以極好的精度和可重復性收集數據。機器還有一個運動控制模塊，使用戶能夠將探針相對於樣品精確定位。數據值可以直接從儀器中存儲或打印。ZA-H200UND的高畫質得到了多種高級硬件組件的支持。這包括使用波長補償鏡頭，使工具能夠以非常低的失真捕捉圖像；一個濾色輪，允許用戶匹配樣品的波長，以縮小焦點，減少耀斑；和立體顯微鏡物鏡，提供更大的景深，並允許分析顯微鏡下的小缺陷。HITACHI ZA-H200UND的其他功能包括自動對齊軟件包,它使用戶能夠快速對齊和測量具有一致可靠性的多個晶片。ZA-H200UND還利用了納米地圖功能，使用戶能夠輕松地將測量範圍縮小到晶圓上的特定區域或設備。綜上所述，HITACHI ZA-H200UND是一種最先進的晶圓測試和計量資產，旨在對生產和制造的半導體晶圓進行表征。它具有高速電機、高分辨率探測器、運動控制模塊、自動對準軟件以及各種高級硬件組件,可為用戶提供執行精確測量、臨界尺寸成像和缺陷成像的能力。ZA-H200 UND的納米地圖功能為用戶提供了精確縮小測量範圍的能力，使其成為先進晶圓計量和工藝開發的理想模型。