二手 HOMMEL T2000 #170931 待售

HOMMEL T2000晶片測試和計量設備設計用於對直徑150 mm以上的半導體晶片進行高效而有力的處理。該系統為評價半導體晶片的電氣、物理和光學特性提供了準確的結果。該單元配備了中子反射計、聚焦離子束（FIB）、掃描電子顯微鏡（SEM）、光學顯微鏡成像等行業領先技術。T2000有一個自動化測試室，配備集成的機械晶片處理機、精密計量頭和幾個測量室。其設計可提供高達3.2 μ米的橫向分辨率和高達1 μ米的深度分辨率。該工具還提供高吞吐量,測量周期僅為0.4秒。這意味著可以在短時間內處理數百個晶圓。利用先進的散熱能力,它能夠執行高達200 °C的溫度循環。精確度在半導體制造中至關重要,HOMMEL T2000提供精確、深入的計量測量,測量尺寸可達500 nm的特征,即使在晶圓外圍也是如此。該資產還提供了一系列軟件工具,包括AutoAlign Pro、SPM Analysis算法和Image Processing軟件。所有這些特征使T2000能夠執行多個測試,包括CD、厚度和粗糙度測量、3D形狀表征、臨界尺寸（CD）測量、曲面拓撲和缺陷分析。HOMMEL T2000還提供非接觸測量,用於測量和分析圖像對比度、顏色和亮度。這種高效的模型適用於各種類型的晶圓樣品，從機械到光學，從微電子到光學應用。內置電動工具更換器、自動對焦設備和自動樣品裝卸等附加功能，用於處理大批量晶圓，提高測試和計量結果的質量和速度。總體而言，T2000是一個出色的晶圓測試和計量系統。憑借其可測量的特性和高分辨率的能力，它能夠提供高吞吐量的質量和精度測量。該單元非常適合半導體行業的測試和計量要求。