二手 IMS LVIS-2005 #9144063 待售

IMS LVIS-2005是一種前沿晶圓測試和計量設備，設計用於半導體制造，並基於輕型分辨率（LDR）測試模型。LVIS-2005提供了用於精確測試各種晶圓配置的最新功能。該系統能夠測量一系列參數，包括模具尺寸、模角、蝕刻深度和輪廓以及晶圓厚度。該設備在基於光源的非接觸計量平臺上運行，內置掃描機器能夠進行自動、高階和高精度測量。該工具具有直徑8英寸的光學級耦合到6軸級，這兩者都能夠將晶片定位在其目標值的正負1微米以內。該級能夠支撐各種晶圓尺寸，從8英寸到6英寸，並且能夠容納設計小於1微米到5毫秒的晶圓尺寸。IMS LVIS-2005具有高分辨率成像資產,能夠對晶片上的不同特征進行成像。成像模型包括高分辨率CCD相機、全套軟件，以及大量的掃描儀器集合。它能夠精確測量模具、凹坑、臺階、線寬和表面地形的高度和尺寸。該設備還配備了各種測試和計量輔助工具，以幫助確保準確性和效率。這些工具包括小型晶片的低成本驗證系統、自動模式識別單元、高分辨率的過罐機、多軸作業多項式回歸工具、多面譜測試模式資產和控制模型。與其他晶圓檢測系統相比，TheLVIS-2005能夠提供準確的數據。該設備的非接觸掃描系統設計用於低功率分辨率測量，為各種晶圓類型提供了廣泛的靈活性。LVIS-2005設計用於高端晶圓制造的高精度復雜測量。該單元提供了一個自動化的計量平臺，以促進質量保證和產量管理。