二手 IMS LVIS #9160840 待售

IMS LVIS是由Image Metrology Systems公司生產的晶圓測試和計量設備。該系統專門測試晶圓上的微觀尺度結構，並允許對其進行深入分析。專門設計用於測量III-V、SiGe和SOI器件結構的幾何性質和電性能。該單元通過使用安裝在精密空氣軸承上的級來工作，以移動和定位樣品級到特定的對準區域。一個集成的數碼相機，加上專門的軟件，被用來以不同的放大倍率捕捉樣品的圖像。然後對圖像進行分析，並將其用於測量樣品的特定特征，包括幾何特征。LVIS能夠測量各種幾何屬性,例如2D和3D線寬、邊緣輪廓和側壁角。它還可以測量電阻率、接觸電阻、介電特性等電性能。該機還能夠同時測量多個樣品，這意味著它是研究應用和高吞吐量生產線的理想選擇。IMS LVIS還能夠執行精確的位置和方向測量,從而在測試過程中對樣品進行精確對準。這樣可以確保測量的準確性不會因樣品級的不正確位置或方向而受到影響。最後，用戶在測試和測量過程中得到了很大的控制和靈活性。高級配置選項允許用戶創建一個特定的測試序列,該序列利用可用於在單個運行中測量多個示例的自動化功能陣列。總體而言，LVIS是一種強大而精確的晶圓測試和計量工具，它將先進的激光成像技術與強大的軟件分析結合在一起。這使得它能夠以無與倫比的精度和細節來測量樣品上的幾何和電氣特性。