二手 IMS / NANOTECH 13666-LIME BUSTER XL #9294969 待售
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IMS/NANOTECH 13666-LIME BUSTER XL是一種最先進的晶圓測試和計量設備,設計用於測量電氣參數、工藝光刻、測試和計量。它非常適合跨越各種元件制造過程的1級應用程序。IMS 13666-LIME BUSTER XL系統使用可編程電子數字信號處理器(DSP)接收和處理掃描樣品,用於圖像分析和過程控制。它包括一個高清數字數據采集單元,允許獲取高達1200萬像素的圖像。這種高分辨率允許根據實驗數據優化圖形。該機還具有2D/3D光學模塊和ArF激光圖樣,能夠產生高分辨率和精確的輪廓測量,包括電氣測試數據、厚度測量、臨界尺寸(CD)測量精度、反射率、門輪廓和掩模對準精度。NANOTECH 13666-LIME BUSTER XL還包括晶圓掃描儀和晶圓處理程序,其設計目的是提供一個標準的自動化接口,用於在工具上處理和運輸晶圓。該資產能夠連接到廣泛的制造工藝系統,從而實現測試和計量的完全集成。13666-LIME BUSTER XL還能夠編程一個廣泛的復雜電氣測試庫,從而允許廣泛的晶圓測試應用程序。此外,它還提供驅動程序/電源解決方案、高電流和低電流載波測試、自動庫組件以及一整套操作功能。該模型還具有高度的用戶配置能力,可用於各種應用程序。IMS/NANOTECH 13666-LIME BUSTER XL還提供了先進的高性能測量引擎,允許高速精確測量和分析。該設備具有高精度、快速吞吐量和前所未有的易用性,可用於生產流程的總體控制。IMS 13666-LIME BUSTER XL的設計旨在對1級生產環境中的電氣參數、工藝光刻、測試和計量進行可靠、準確和高分辨率的測量。對於需要對組件、基板、工藝測量、光刻、計量等進行可靠、準確和高分辨率測試的組織來說,它是一個理想的解決方案。
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