二手 IMS / NANOTECH LVIS-3+ #9314421 待售

IMS/NANOTECH LVIS-3+晶片測試和計量設備是一種先進且高度精確的儀器，用於表征和加快半導體晶片基板的評估。該系統采用激光掃描、光學計量和電壓測量技術的新穎組合，提供地形和電氣中晶圓性質的詳細無損映射。IMS LVIS-3+設計用於測試晶片和表征晶片的各種應用,例如制造微電子器件、微系統和傳感器。具體而言，該單元旨在分析光刻、氧化、擴散、沈積和蝕刻等過程以及結構缺陷和汙染。該機適用於包括III-V半導體、絕緣體上矽（SOI）、氮化矽、鋁等沈積蝕刻結構等多種材料。NANOTECH LVIS-3+采用高分辨率激光掃描顯微鏡（LSM）,能夠測量表面地形和電性能,空間分辨率為0.07 µm。它能夠表征各種過程和參數，包括接觸面積、空隙、晶粒大小、表面汙染和均勻性。該工具配有高分辨率白光幹涉儀，用於測量步高和檢查薄膜厚度。資產還與電壓探針和電壓監視器集成在一起，允許測量電路、接觸電阻和監測電流泄漏或短路。LVIS-3+效率高,能夠同時檢查多達15個站點。此外,該模型的設計考慮了自動吞吐量,並提供了多種自動分析和編輯功能。這樣可以更快、更全面地評估晶圓特性。此外,該設備還為編程和操作系統提供了直觀的圖形用戶界面,使經驗豐富和經驗不足的用戶能夠輕松設置和使用。綜上所述，IMS/NANOTECH LVIS-3+是一個功能強大且精密的晶片測試和計量單元，旨在為晶片基板提供可靠和全面的表征。它能夠對薄膜厚度、地形和電性能進行高精度和高效率的評估。用戶友好和自動化的功能使其適合經驗豐富和經驗不足的用戶。