二手 INSPECTROLOGY IVS-165 #9390277 待售

INSPECTROLOGY IVS-165是一種晶圓測試和計量設備,旨在為先進的半導體技術提供精確、高通量的測量。該系統采用模塊化的無損檢測方法，能夠提供精確的檢測結果，且樣品損壞最小。該晶片測試和檢驗裝置采用了XY/ Θ級專利設計，結合了先進的光學和先進的圖像處理技術。通過XY/ Θ級和空氣軸承定位技術相結合，實現了高精度的四軸晶圓運動。當與物鏡和照明源結合使用時，它可以測量樣品特征的寬度、高度和深度，精度高達1.5 μ m。此外,高速運動允許每秒最多1,000個成像周期,以快速測量IC元件。IVS-165機器能夠檢查不同類型的半導體晶片，如SOI和MEMS。適合晶圓映射、晶圓缺陷分析、產品質量保證等應用。當用於MEMS設備的表征時,該工具能夠測量和分析分辨率高達1 μ m的各個層及其特征。它還能夠成像和分析結構,如線寬、接觸孔、對齊標記,甚至高達1.5 μ m的3D結構。對於錯誤和過程監測，資產能夠檢測到微小的缺陷，包括高達一半微米的點蝕和空隙。INSPECTROLOGY IVS-165模型附帶了一整套方便圖像分析和故障監控的軟件工具。軟件套件允許用戶訪問實時測量、可靠的報告和測試後數據分析。這些工具可以執行自動缺陷表征、圖像比較和故障識別。此外,該軟件還具有批處理、質量控制報告和特定測量分析等功能。IVS-165是一種高度通用和可靠的晶圓測試和計量設備，旨在滿足半導體制造的需求。該系統具有強大的成像和運動能力,能夠提供快速、準確的測量,且樣品損壞小。捆綁的軟件工具使其成為缺陷測試、過程監控和產品質量保證的理想平臺。