二手 JMAR Mirage #140281 待售

JMAR Mirage是一種晶圓測試和計量設備，有助於改善半導體的生產。該系統由各種組件組成，這些組件協同工作以促進半導體的高效測試和計量。該單元包括先進的光學器件，如遠程中心成像光學器件，用於樣品成像以及從深紫外線到近紅外的全光譜覆蓋。高分辨率3軸級用於樣品的精確對準和掃描。樣品用可見光和紅外光照明，反射信號用CCD成像檢測器捕獲。CCD探測器還提供熱成像功能,可以進行更精確的計量測量。在計量方面，Mirage配備了集光學和機械技術於一體的先進3D掃描儀，以捕捉對半導體地形和微觀特征的快速準確的測量。高級掃描儀可精確捕捉特征形狀和動態,包括特征高度、平面度和特征大小。該機還配備了Nano Intution TM軟件，用於準確檢測和測量地下缺陷和雜質。JMAR Mirage還具有大量的測量功能,包括叠加和對齊、CD和SEM缺陷測量、薄膜厚度和應力評估、特征均勻性、經度和巖性標線。該工具還具有許多分析功能,如交互式模式識別、自動缺陷分類和生命周期管理。總體而言，Mirage是一種高效的晶圓測試和計量資產，可以幫助半導體制造商提高產量和提高質量。該模型提供高光學分辨率、快速采集速度以及一套通用的測量和分析工具。