二手 KEITHLEY 6220 #9111566 待售

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ID: 9111566
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KEITHLEY 6220是一種高性能的晶圓測試和計量設備,設計用於提供設備晶圓的精確測量。該系統具有高精度、自動化的晶片處理程序,允許精確和可重復的晶片定位。它配備了完全可編程的自動舞臺運動,提供快速精確的晶圓放置和工具定位。該單元有一個集成的計量包,用於精確測量晶圓。計量包包括高分辨率光學顯微鏡、激光幹涉儀,以及一系列用於精確晶圓運動和掃描能力的光學講臺。測量功能包括高度、寬度、孔直徑和側壁角度的輪廓測量,以及反射指數和線寬測量。6220晶圓測試和計量機可以配置為使用各種工藝技術運行,包括熱工藝、外延生長、離子植入、化學蝕刻、光刻、介電沈積和間隔物制造。該工具包括一個綜合控制控制臺以及測試和敏感測量儀器,為過程控制和生產產量提高提供測試和計量數據收集。控制臺還設有一個全面的TEK-CARE數據庫,允許用戶存儲和比較測試和計量數據。該資產包括一個溫度監視器,可以設置該監視器以提供晶圓測試和計量過程中溫度變化的反饋。此外,該模型還具有進行原位光譜分析的能力,使光譜技術能夠測量集成電路的光學特性。最後,在KEITHLEY 6220晶圓測試和計量設備上進行的測試是可重復和可靠的。該系統采用內置校準單元設計,確保了數據的準確性和可重復性。這使機器能夠向用戶提供準確的測量。它還確保可以快速識別和糾正任何錯誤或波動,從而提高工具的整體性能。
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