二手 KEYENCE LK-011 #9178517 待售

KEYENCE LK-011
ID: 9178517
Laser displacement sensors.
KEYENCE LK-011是市場上最先進的晶圓測試和計量系統之一。它旨在對各種半導體晶圓表面進行精確可靠的測試和測量。該設備將一系列復雜的檢查和計量工具集成到一個執行各種測量任務的高效系統中。LK-011有一個具有兩個光源的高分辨率光學顯微鏡:低晶粒分辨率的LED燈和高晶粒分辨率的高性能LED。顯微鏡可以觀察到高達100倍放大倍率的樣品,這意味著該單元可以提供晶圓表面的高度詳細的圖像。機器使用先進的成像技術來識別任何不規則性、缺陷或意想不到的特性。該工具還具有提供高度精確測量的雙軸激光計量工具。它使用兩個沿著兩個獨立軸行進的激光束。該設備能夠檢測晶圓表面任何特征的高度、寬度和深度,以及測量粒徑和其他參數。該資產提供分辨率為1 nm的極其精確的測量。KEYENCE LK-011還包括一個集成的聚焦監視器,可持續確保晶圓表面始終處於銳焦點。焦點監視器采用自動對焦模型,自動將焦點調整到最佳位置。該設備還有一個自動缺陷檢測系統,能夠識別人眼看不見的小缺陷和不規則性。該單元還配備了數據分析工具,可以比較多種測量與用戶定義的規則和要求。然後可以將結果存儲在機器的數據庫中,並用於質量控制和可追蹤性目的。還可以導出數據以進行其他分析和故障排除。總體而言,LK-011是半導體制造商使用的功能極其強大且先進的晶圓測試和計量解決方案。它提供了可靠和精確的測量,以確保半導體晶片盡可能高的質量。通過簡化整個測試和計量過程,該工具有助於降低成本和提高生產率。
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