二手 KEYENCE LK-G11 #9109318 待售
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KEYENCE LK-G11是一種自動化晶片測試和計量設備,用於檢查半導體晶片的各種缺陷和特性。該系統能夠同時對多個晶片進行高精度測量和測試。該單元基於200 mm自動加載端口,可以接受TEL(Top Examination Loader)、FOUP(Front Opening Unified Pod)和JEDEC標本卡帶。它能夠使用專用顯微鏡進行模式識別,並配備了一系列具有各種表征功能的硬件和軟件應用程序。它可以用於檢查包括GaAs(砷化超)、Si (Silicon)、SiGe (Silicon-Gemanium)、SOI(絕緣體上的矽)、COO (Completical On-Off)在內的一系列半導體晶片。該機采用高精度測量功能,使用獨立的光學和線性刻度進行精確測量。它還配備了多點參數映射的功能,可以同時測量和檢查晶圓上的幾個點,並且可以在單個晶圓上精確測量產品特性。還可用於分析產品的電氣特性,檢測和測量微觀層面的缺陷,如劃痕、碎屑、橋梁缺陷,以及產品的地形和表面汙染。該工具的高級軟件允許在晶圓上輕松獲取數據,具有多個變量和計量功能。它還能夠生成具有圖形化晶圓圖和統計報告功能的報告,允許以各種方式分析測量數據。LK-G11提供了一種可靠和準確的方法來檢查和測試各種不同的晶圓樣品和產品,使其成為從事半導體晶圓加工和計量的實驗室的寶貴工具。
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