二手 KIC 2000 #9360988 待售

KIC 2000是一種晶圓測試和計量設備，為半導體晶圓生產過程提供晶圓測試和計量能力。它基於掃描電子顯微鏡（SEM）和光學顯微鏡對重摻雜和化學紋理晶片進行過程控制。該系統的特點是同時采集和同時分析臨界尺寸和特性，如薄膜厚度、表面地形和缺陷檢查。該裝置還具有圖像縫合能力，可以控制制造後晶圓的變形。該機器適用於諸如矽絕緣體（SOI）和陣列晶圓級封裝（AWLP）系列等技術。2000工具采用蔡司Auriga SEM和配有Kla-Tencor專有的高分辨率缺陷檢測（HRDI）技術的光學顯微鏡。這項技術在不到60秒的時間內提供晶圓缺陷的自動掃描、檢測和分類。高分辨率SEM最大程度地減少了來自邊緣效應的信號幹擾,並允許從1 µm到3mm的任何測量都具有高精度。光學顯微鏡具有固態分析平臺，內置了CD、DTA、SSP等多種應用的功能。CD讀出資產支持從0.1µm到>3mm的分辨率。KIC 2000還具有Kla-Tencor的SemiVision軟件,用於優化測試配置和模式,以及輕松集成現有晶圓級流程。軟件可以從獲取的測試數據監視、預測和診斷晶圓級的缺陷。此外,它還允許實時查看來自光學和SEM的同時數據。它還提供晶圓扭曲和邊緣輪廓度量的自動數據收集和分析,以及特征覆蓋範圍,以及自動Z軸測量和縫合。該軟件采用符合行業標準的智能編程界面、用戶友好界面和精確的SPC數據打印方式構建。綜上所述，2000是一個全面的晶圓測試和計量模型，為半導體行業的各種應用提供自動化的2D檢測、3D計量和圖像縫合能力。它配備了HRDI技術，用於更快的SEM圖像傳輸和更高分辨率的圖像。此外，該設備還與SEMVision集成在一起，以優化測試模式和方便地集成現有的晶圓級工藝。