二手 KLA / FILMETRICS F20 #293637542 待售

KLA/FILMETRICS F20是一種晶圓測試和計量設備，設計用於對半導體晶圓的各種特性提供可靠、可重復、準確的測量。該系統利用光幹涉技術精確表征各種材料特性，包括厚度、地形和其他表面特性。KLA F 20包括四個主要組件：精密級、光源、光學和電子。精密級用於掃描晶片並控制相對於光源的位置。光源是高度穩定的LED，以可見波長發光。光學器件是專門設計的透鏡和濾光片，控制發射光的方向和偏振。電子元件為設備提供電源和必要的數據。FILMETRICS F20有兩種內置測量參數：單點掃描和線性掃描。對於單點測量，舞臺移動到用戶定義的位置，機器測量反射光的峰峰幅度。然後將此信息用於計算晶圓的厚度、地形和其他材料特性。對於線性掃描測量,用戶定義路徑,刀具使用與單點測量相同的峰峰幅度測量過程掃描晶圓。然後收集和處理所有數據以生成2D地形圖。F20旨在提供快速、準確和可重復的晶圓測量。機載電子使用先進的算法來調整條件的變化，如熱漂移和振動。資產還允許驗證測量的準確性和可重復性，如果測量超出公差，則提供反饋。KLA/FILMETRICS F 20有一個可選的SRS模塊,用於定制特征關聯測量。KLA F 20是半導體晶片材料測試和工藝控制的理想工具。該型號易於安裝、使用和維護,並具有用戶友好的操作功能。它為高速精確表征晶片提供了廣泛的測量能力。