二手 KLA / FILMETRICS F20 #293665953 待售

KLA/FILMETRICS F 20是一種晶圓測試和計量設備,為低（100-200 nm）和高（1-20um）橫向分辨率SIR和厚度計量應用提供全面的一站式測量。該系統采用全自動、非接觸式光學設計,以最小的操作員輸入提供快速、準確的結果,並且無需用戶校準。該單位基於光柵的自動對焦和舞臺掃描技術，加上其廣泛的應用程序庫和自動化數據分析例程，允許實時自動檢查、分類和分類。這使市場上的準確性和可重復性達到最高水平,並消除了手動解釋和調整。KLA F 20包括用於測量特征大小、粗糙度、層壓、地形、蝕刻速率等的數據分析例程庫。它還提供故障模式和嚴重性級別的自動分類。除了收集晶片的生命統計數據外，機器還可以定制以捕獲各種其他參數，直至包括分層和光阻特性分析。FILMETRICS F20經認證可用於薄膜沈積、掩模制作、光刻、蝕刻、電鍍、金屬化、晶片清洗等半導體和光電應用。它支持包括Si、Ge、Al、InGaAs和GaN在內的標準基板。該工具可以配備各種檢測頭和鏡頭，以適應客戶的計量需求。F20直觀的用戶界面通過其全面的菜單提供了輕松的導航，使用戶能夠快速設置其測試所需的參數。該資產提供各種可視化工具,允許用戶實時修改設置和查看結果。此外,它的高級數據處理功能允許用戶快速將結果導出到Excel以進行進一步分析。該模型還提供了一整套診斷和追蹤功能。它的故障排除工具使用戶能夠快速診斷問題並進行故障排除,而其可追蹤性功能使用戶可以跟蹤部件、運行和結果。最後，該設備設計方便，操作要求最低限度。總體而言,KLA/FILMETRICS F 20系統是晶圓測試和計量的一個非常有用的工具,它提供全面、自動化和準確的測量,從而改進生產和檢查過程。通過將其直觀的操作和可視化功能、快速的結果、準確的測量和可追蹤性功能相結合,本單元提供了滿足苛刻晶圓測試需求的完整解決方案。