二手 KLA / FILMETRICS Profilm 3D #293659647 待售

KLA / FILMETRICS Profilm 3D
ID: 293659647
Thickness measurement system.
KLA/FILMETRICS Profilm 3D是晶圓測試和計量的最新解決方案。它使用先進的技術來測量表面拓撲和材料組成在生產過程後如光刻和蝕刻。該技術提供了更好的產量監控和工藝優化,確保了更高的半導體可靠性和越來越經濟高效的生產。KLA Profilm 3D配備了幾個激光傳感器,可以捕獲多達四個維度,使其能夠分析一系列表面、高度和輪廓特征。其先進的覆蓋和聚焦系統提供了不到一納米的精確測量-允許晶圓結構和組成的微小變化實時捕獲。FILMETRICS Profilm 3D支持多種數據采集系統,適用於各種晶圓尺寸和材料。它可以測量粗糙和光滑的曲面,以及透明、彎曲或擴散的曲面。該設備還提供完整的晶圓管理和報告功能,允許用戶隨時間監測結果並輕松比較不同的數據集。該系統旨在保持清潔環境和保持高產。其整合式潔凈室設備包括真空裝置、無塵室和防止外部來源汙染的氣體隔離機。此外,Profilm 3D還包含一個實時過程控制工具,該工具可以調整溫度、壓力和曝光等參數以確保最佳屈服。此外,KLA/FILMETRICS Profilm 3D可用於自動化和手動環境。其直觀的界面使其易於使用,讓新技術的經驗豐富的操作員和操作員迅速熟悉其功能。綜上所述,KLA Profilm 3D資產是晶圓測試和計量的先進平臺。它能夠以極高的精度測量表面紋理和組成,並提供工藝優化以確保可靠的產量。集成的清潔室技術和實時過程控制確保了模型始終處於最佳狀態,而直觀的界面使其易於使用。
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