二手 KLA / TENCOR 10-02000 #9248699 待售
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KLA/TENCOR 10-02000是一種晶圓測試和計量設備,可快速、可靠、準確地檢測半導體晶圓中的缺陷。該系統利用先進的技術提供卓越的成像、分析和晶圓過程監控能力。該單元利用先進的成像和分析技術來檢測和分析任意形狀,集成大型陣列數據庫,創建和評估比較分析,並對各種結構(如線條特征和3D結構)執行無損光學測量。它結合了自動化操作,以便能夠快速準確地檢查和測量各種晶圓配置。KLA 10-02000設計用於增強透矽(TSV)檢測,以及晶片到晶片,以及用於提高產量的晶片到晶片的比較。它有一個可重復的過程,可在以後識別任何缺陷或缺陷,並有助於確保過程的完整性和可追蹤性。機器還有一個最先進的隔振表,允許精確的晶圓放置和計量精度。此外,溫度控制階段確保了所有溫度敏感測量的卓越重復性。它以強大的圖像采集和分析工具給人留下深刻印象,該工具支持對平面和傾斜的、通過矽的結構進行全面的前後檢查。它包括一個多光譜電荷耦合器件(CCD)相機,以及先進的光學和數字圖像處理。TENCOR 10-02000提供了多功能性和很少的維護,而且每次都提供一致的結果。低成本和不到1%的停機時間使其成為任何生產線的絕佳工具。它還能夠同時執行多達三個進程,並且可以打印晶圓映射來檢查晶圓完整性,包括互連厚度和均勻性。10-02000為晶圓測試和計量提供了無與倫比的性能和多功能性。通過結合先進的成像、分析和晶片工藝監控技術,資產可以以速度和精度檢測、測量和分析任何類型的晶片。它用途廣泛,非常適合各種晶圓測試需求,而其可靠的性能和較低的維護成本使其成為任何生產線的經濟高效解決方案。
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