二手 KLA / TENCOR 1010 #9277070 待售

KLA / TENCOR 1010
ID: 9277070
Resistivity mapping system.
KLA/TENCOR 1010是一種晶圓測試和計量設備,旨在支持半導體行業的研究級表征和大批量生產。該系統圍繞一個直觀的用戶界面構建,允許操作員快速配置、執行和分析各種用於晶圓測試的計量算法。KLA 1010單元旨在滿足半導體制造工藝的苛刻需求。它具有先進的光學技術來控制測試中使用的光的特性,以及先進的算法套件來快速準確地從測試晶片中捕獲測量結果。該機器同時處理透射和反射樣本,使其能夠捕獲廣泛的計量數據。該工具的高級光學器件由激光幹涉儀組成,用於制作晶圓的高度詳細的3D圖像。光學配置創建了一個高分辨率焦平面,使資產能夠捕獲比傳統晶圓測試方法高20倍的數據點。TENCOR 1010提供了廣泛的測量和映射功能。這包括特征檢測、汙染檢測、層厚度分析和平坦度分析。它有一個健壯的算法套件,可以同時測量晶圓的幾層。此外,該模型還可以測量多層的平坦度,並識別過程引起的缺陷,如微劃痕和針孔。KLA高級軟件套件還提供數據可視化功能,使操作員可以隨時間比較測試結果。該設備配有用於比較晶圓測試數據的高級分析工具以及可在潛在問題造成進一步損害之前識別潛在問題的預測分析。該系統還提供了廣泛的可追蹤性能力,有助於確保質量和監管標準得到滿足。總體而言,1010是為滿足半導體行業需求而設計的先進單元。該機器具有強大的光學性能和先進的算法套件,為研究級別的表征提供了必要的靈活性和準確性,並為生產級別的測量提供了可靠的長期數據。因此,它是尋求全面晶圓測試解決方案的半導體制造商的理想工具。
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