二手 KLA / TENCOR 1050 #9151487 待售

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KLA / TENCOR 1050
已售出
ID: 9151487
Film thickness measurement system.
KLA/TENCOR 1050是一種晶圓測試和計量設備,用於檢查和分析半導體制造工藝。該系統對光掩模缺陷、薄膜厚度、線寬和微缺陷以及其他半導體特性提供精確、快速的測量。KLA 1050配備了多項功能,使其非常適合大容量半導體生產。它具有高分辨率的彩色成像和激光顯微鏡,能夠準確檢查晶圓的地形和表面特征。該單元還提供了廣泛的測量工具,使檢查過程高效可靠。其中包括用於快速準確地測量薄膜厚度、線寬和微缺陷的計量模塊。TENCOR 1050利用高分辨率光學顯微鏡快速成像給定晶片,用於圖樣和輪廓驗證。顯微鏡的電動級為成像和分析提供了快速精確的x-y-z定位。該機器還采用了專利的「Z-Contrast」成像技術,利用一種稱為光電離的工藝來檢測晶圓表面的微觀特征和缺陷。1050年的晶圓測試工具由KLA FieldView軟件驅動,該軟件為圖像分析提供了用戶友好、直觀的界面。KLA/TENCOR 1050還有一個集成的計量工具箱,允許自動計算薄膜厚度和其他計量參數。資產還具有收集和保存各種測量數據以供將來分析的能力。總體而言,KLA 1050是晶圓測試和計量的高效且高度精確的模型。它提供了廣泛的功能,例如彩色成像、激光顯微鏡和自動測量工具-能夠快速準確地測量半導體特性。TENCOR 1050因此非常適合半導體制造業的大批量生產。
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