二手 KLA / TENCOR 2.1 Surfscan #9043947 待售

KLA / TENCOR 2.1 Surfscan
ID: 9043947
Inspection system, 5".
KLA 2.1 Surfscan是為半導體制造而設計的晶圓測試和計量設備。它利用一系列先進技術,如光子發射二極管、激光羽流和其他光學系統,檢查半導體晶圓基板。系統設計用於檢測晶片表面的缺陷,允許用戶識別和解決出現的任何問題。Surfscan 2.1具有堅固耐用的工業級設計,使其能夠在惡劣的半導體生產環境中運行。它由一個強大的控制器、多個高分辨率攝像機和光學器件、健壯的運動控制以及復雜的計量算法組成。該設備利用先進的圖像分析方法快速掃描晶片並檢測預期模式的任何變化。該設備結合了計算機斷層掃描、激光羽流和光子發射二極管,可以精確分析納米尺度的晶圓表面。它配備了檢測100 nm範圍內的特性的能力,遠遠超出了其他半導體檢測系統的能力。該機器能夠快速評估各種不同的晶片條件,如沈積質量、表面粗糙度和電阻率。它具有全面的缺陷分類能力,可以對晶圓完整性進行高級評估。它還可以對正面和負面的缺陷進行自動測量,從而減少手工評估的需要。此外,Surfscan 2.1還可以與其他系統集成,例如生產控制器、機械臂和視覺系統,以實現全面的工具控制。這樣,無需任何手動幹預即可實現全自動測試和缺陷檢測。此外,它還具有直觀的用戶界面,便於操作和自動分析。總體而言,TENCOR Surfscan 2.1是一種先進的晶圓測試和計量資產,旨在精確檢查半導體晶圓。它設計了一個強大的設計和先進的計量算法,以獲得高度準確的結果。憑借其先進的缺陷檢測能力和與其他系統的集成,它為半導體制造中的質量控制提供了先進的解決方案。
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