二手 KLA / TENCOR 2.1 Surfscan #9239243 待售

KLA 2.1 Surfscan是一種晶圓測試和計量設備，用於關鍵半導體器件結構的高級監控和批量診斷。它是檢測和表征半導體晶片缺陷的最高分辨率計量解決方案之一。該系統建立在一個專有的表面技術引擎上，並利用先進的算法進行缺陷檢測，從而產生高精度的性能。它使用戶能夠準確分析各種測量,如臨界尺寸、圖像、表面粗糙度、集成設備特征和局部曲面映射。它支持用於測量復雜設備和特征的各種應用,包括3D表面檢查和晶圓探測,以提高制造產量和可靠性。該單元直觀的用戶界面易於使用，允許用戶快速設計、控制和執行測量序列。它還使用戶能夠自定義分析參數，以優化其探測器的性能和準確性。Surfscan支持可選成像技術，以適應特定地點的工藝要求，包括直接成像、傅立葉變換紅外（FTIR）、X射線成像和邊緣發射顯微鏡（EEM）。此外,該機器還提供具有深層紫外線功能的成像,使用戶能夠檢測到納米級缺陷,而這些缺陷在其他方面很難用傳統光學技術進行測量。它還采用了適合在線或現場計量的先進非接觸式測量技術，無需人工測量。該工具支持一系列行業標準數據格式,以便與現有數據系統無縫集成。它配備了一個集成的報告生成器和一整套圖像采集和分析工具，用於詳細的測量和數據分析。總體而言，TENCOR 2.1 Surfscan是快速、準確和可靠的晶圓測量和計量的理想資產。它提供了最高水平的準確性、速度和靈活性,使其成為半導體器件以及工藝表征和缺陷診斷的完美解決方案。