二手 KLA / TENCOR 2915 #9168923 待售
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ID: 9168923
晶圓大小: 12"
優質的: 2012
Inspection system, 12"
2900 Ducting DFIHS
PHOENIX v2.0 VQ line
45 kVA 25 Cassette HH
12" SW
DSH 065
Haze
Shiny 2915 IDA rack
E84 Error recovery suite
Dual E84 RGV & OHT, PHX, DFIK
SHHKO E87 / E39
E90 K40 / K94 GEM / SECS
HSHS 2 Onron VG40 V3 CID
PHX SHHKO Safety skirt
DFIHS, PHX OHT, E-stop and lockout, DF
PHX Dual loadport info pad kit
G4 FIHS Ionization remote blower conversion kit
Blower cable: 290X/1X (50ft) 20m
Main power cable: 290X/1X
2900 Logic and memory inspection modes
Optics available: 0.05, 0.065, 0.08, 0.09, 0.12, 0.16, 0.2, 0.22
Exposure modes:
Blue band
Broad band
UV Deep band
UV Middle band
UV Ultra broad band
Ultra deep band
GH I Line
G Line
HI Line
I Line VIS
2012 vintage.
KLA/TENCOR 2915是為生產高性能半導體器件而設計的自動化晶圓測試和計量設備。它為業界最先進的光刻設備提供完整的數字測試和計量功能。該系統是一個全數字化、自動化和白光掃描計量平臺，能夠對半導體晶片上的小特征進行極其精確的測量。該單元采用先進的光學成像機，以納米精度精確測量小尺度特征。它最多可測量10,000個晶圓參數,包括：線寬、臨界尺寸（CD）、邊緣偏差和晶圓表面的平坦度。該工具包括兩個模塊：ADC（模數轉換器）和計量模塊。ADC模塊將模擬信息轉換為數字數據；計量模塊獲取晶圓曲面的圖像，然後對其進行精確分析。該資產提供高速數據采集，可以自動檢測和識別晶圓上的特征。該模型建立在可靠的軟件平臺上，提供卓越的數據管理工具和用戶友好的圖形用戶界面。它還具有多種軟件模塊，旨在分析數據並以易於理解的格式呈現。該設備旨在充分利用現有的行業標準,如SEMI和ISO標準。它與業界最先進的半導體制造工具和設備完全兼容。它還具有簡單的升級路徑,使用戶能夠根據需要輕松擴展系統的功能。KLA 2915提供了廣泛的功能和優勢來支持高科技產業。它使用戶能夠快速高效地獲取和分析極其準確的數據。設計方便操作，維護最少，提供高質量的測試和計量結果。此外,其出色的軟件平臺確保了與業界其他設備的兼容性。TENCOR 2915單元旨在為晶圓測試和計量要求提供完整且高度可靠的解決方案。其先進的光學成像、高速數據采集和直觀的軟件使其成為任何半導體生產線的理想選擇。
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