二手 KLA / TENCOR 365 UV #9353977 待售
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ID: 9353977
優質的: 2000
Defect inspection system
INTERNOVA ICLS-RTX Mask aligner
SMIF
Main body:
MLS
Robot arm
Robot and controller
Stage
COHERENT i-Line laser
He Ne Laser
Optic module
Board
Facilities module:
Heater exchanger
COHERENT i-Line laser controller
Power supply
With KLA 60 (KLA 50):
Board
PC Monitor
Board power supply
IC Board
2000 vintage.
KLA/TENCOR 365 UV是一種最先進的晶圓測試和計量設備，設計用於分析各種半導體器件和納米結構。該系統采用高分辨率、四向運動的先進光學顯微鏡，能夠提供微電子元件的納米級成像。它將多個探測器（探針、UV光電倍增器和成像）集成到光學顯微鏡單元中，可以測量晶片的各種物理、電氣和化學性質。此外,它還包括一個專有的自動對焦算法,用於精確聚焦和三維景深控制.這臺機器具有業界領先的精確度和靈敏度。它能夠以納米級分辨率進行CD-SEM成像和測量，為用戶提供更深入的納米級制造工藝和潛在缺陷檢測。KLA 365 UV擁有廣泛的自動化參數設置，優化用於研發、生產和質量保證設置。TENCOR 365 UV工具采用直觀的用戶界面構建,允許優化工作流和高效操作。集成了多種工具以最大限度地提高生產效率,包括智能報告功能,以生成符合用戶要求的自定義報告。該資產與領先的軟件包兼容,並具有一系列數據導出格式,用於無縫整理和共享結果。365 UV除了性能優越外，還提供了健壯、堅固的安全設計。該模型包括安全燈幕和數字I/O保護，以確保所有用戶免受危險輻射和觸電危險。此外,KLA/TENCOR 365 UV完全符合ISO和TUV標準,並通過了幾項嚴格的安全測試。KLA 365 UV是一種極高通量的晶圓測試和計量設備，為用戶提供最準確的結果和最高的安全程度。這一通用系統允許對所有類型的半導體器件和納米結構進行快速、輕松的分析，以確保能夠生產出質量最高、最可靠的器件。
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