二手 KLA / TENCOR 4000 SURFSCAN #129994 待售

KLA/TENCOR 4000 SURFSCAN是專門為半導體行業設計的自動化高分辨率檢驗計量設備。它用於測試和檢查失敗的或非功能性的矽片和光掩模。該系統能夠測量晶片正面和背面的電氣特性和地形。該裝置還能夠準確查明和隔離缺陷，無論這些缺陷是由於微觀負載、汙染還是物理缺陷造成的。KLA 4000 SURFSCAN使用專有的脈沖閃光燈光源快速掃描矽表面並檢測缺陷。光源產生一個可重復的閃光燈，可以調整，使可視化恰好適合觀察材料。機器使用抽頭對準傳感器,可以確定晶圓和掩模的確切方向。這是計量應用的一個重要特點，其中速度和準確性是重中之重。TENCOR 4000 SURFSCAN還有一個高分辨率顯微鏡工具，能夠將樣品材料放大到2000倍。顯微鏡資產配備了數碼相機和圖像處理軟件，能夠檢測到寬度小至6微米的缺陷。它能夠在不到一秒的時間內獲得檢驗結果。4000 SURFSCAN配備了CCD成像模塊，可以精確捕獲缺陷圖像，並使用X射線軟件進行分析。此功能可快速準確地評估所討論的缺陷,並可用於快速向生產工程師提供反饋。KLA/TENCOR 4000 SURFSCAN還附有一個內聯晶片除霜器，它可以去除由於沈積過程而造成的任何汙染。該模型還采用了「眼睛安全」激光，使設備能夠精確快速地掃描晶圓表面並檢測任何殘留、汙染或缺陷。KLA 4000 SURFSCAN可用於多種生產過程，系統可輕松從自動操作調整為手動操作。TENCOR 4000 SURFSCAN是一項功能強大且可靠的技術,有助於確保半導體生產質量,對於保持行業平穩高效運行至關重要。