二手 KLA / TENCOR 4000 SURFSCAN #131418 待售

ID: 131418
晶圓大小: 4", 5", 6"
Wafer inspection system Unpatterned wafer Resolution: 0.3 microns at 95% Capture based on latex calibration wafers Substrate Material: Silicon Substrate Thickness: 0.3 - 0.75 mm Substrate size: 4", 5", 6" Throughput up to 60 wafers/hour.
KLA/TENCOR 4000 SURFSCAN是一種為了先進的晶圓測試和計量而設計的設備。該系統為用戶提供了一種高效、經濟高效的測量和檢查各種晶圓特性的方法。新的晶圓測試和計量單元以其先進的硬件、智能軟件和先進的圖像分析能力而聞名。該機利用X1光學顯微鏡以大視野捕捉樣品表面圖像。此功能允許進行大面積測量,使用戶能夠以最小的工作量快速準確地獲得所需的數據。X1顯微鏡還配備了自動聚焦功能,減少測量時的用戶誤差。該工具還包含一個模式識別算法,允許自動測量和缺陷識別。此算法旨在檢測與所需陣列大小、形狀和曲面拓撲的微小偏差。此外,該資產還具有一個專有軟件引擎,該引擎允許進行高級測量和缺陷識別。此軟件使用戶能夠定義閾值、設置參數、設置流程流以及執行後處理操作。KLA 4000 SURFSCAN還為用戶提供了一系列其他創新功能。例如,它支持維度計量測量等廣泛的晶圓測試項目。此外,它還能夠檢測或定位即使是最困難的表面上最困難的缺陷。該型號還兼容許多標準格式,包括STDF、ITRF和SAW。為保證高性能,設備包括各種安全特性。這包括自動曝光控制以保持優化的成像級別,以及內置的過壓保護功能,以保護樣品免受損壞。TENCOR 4000 SURFSCAN還包括一個高精度真空級,可確保精確的對準和一致的樣品處理。總體而言,4000 SURFSCAN是一種可靠、經濟的晶圓測試和計量系統。憑借其先進的圖像分析功能和強大的軟件引擎,它為用戶提供了一種高效、經濟高效的優化晶圓特性和快速識別缺陷的方法。
還沒有評論