二手 KLA / TENCOR 4000 SURFSCAN #293590366 待售

KLA/TENCOR 4000 SURFSCAN是專門為提供晶圓地形高精度測量而設計的晶圓測試和計量設備。該系統由光學顯微鏡、精密c軸級、幹涉測量儀、掃描隧道顯微鏡、光學散射儀和統計分析單元組成。該機器的設計目的是對晶圓的整個地形進行完整的分析，包括尺寸、形狀和表面的可變性。KLA 4000 SURFSCAN的光學顯微鏡裝有高品質的數碼相機，提供晶圓地形的高解析度影像。然後可以使用精密c軸級分析這些數據。C軸級能夠在x軸和y軸中移動晶圓，從而能夠進行極精確的測量，直至達到納米尺度。精密c軸級也能實現自動化，為每個測量提供可重復的精度。TENCOR 4000 SURFSCAN的幹涉剖面儀能夠測量晶圓表面的精細細節。這些剖面儀能夠揭示到原子水平的高度變化，並生成晶圓地形的高分辨率3D圖像。高分辨率圖像提供了對表面均勻性和特征的寶貴見解。此外,4000 SURFSCAN工具還配備了能夠檢測表面粗糙度、紋理和散射模式的光學散射計。光學散射計能夠區分晶圓上的不同特征類型並量化其尺寸。最後,KLA/TENCOR 4000 SURFSCAN配備了精密的統計分析資產。這個模型提供了幹涉和散射分析的自動關聯，以產生一個晶圓的地形強大的可視化。此設備可用於優化產量、提高均勻性和降低制造成本。KLA 4000 SURFSCAN是一個功能強大的晶圓測試和計量系統。它結合了高質量的光學顯微鏡、高度精確的c軸級、幹涉測量儀、掃描隧道顯微鏡和光學散射儀，提供了詳細了解晶圓地形所需的信息。該單元能夠提供曲面特征的詳細高度圖和3D圖像,檢測曲面粗糙度和紋理,並生成強大的可視化效果,以優化產量並降低制造成本。