二手 KLA / TENCOR 4000 SURFSCAN #3787 待售

KLA/TENCOR 4000 SURFSCAN是為大體積半導體生產而設計的晶圓測試和計量設備。該系統提供了用於圖樣化和凹凸計量表征的最新技術。用於缺陷檢測、臨界尺寸（CD）測量和叠加對準，以確保晶片滿足生產要求。該單元具有高精度級和先進的光學器件。它在真空環境中運行，可以從設備級別到大型測試芯片進行測量。該機還包括高速級，將掃描範圍擴大到比標準工具快45倍。它的四軸掃描在單個設置中為用戶提供了靈活性。該工具配備了幾個功能，使晶圓檢測更快、更準確。它的嵌入式體系結構加速了完整計量所需的多次掃描。它還具有加速晶圓缺陷表征的板載數據分析。此外,它還在需要時提供現場硬件升級。KLA 4000 SURFSCAN具有直觀的圖形用戶界面,可簡化用戶與資產的交互。高級模式識別、實時分析和一系列報告工具使用戶能夠輕松創建檢查報告。該模型還具有一系列自動模式,可提高吞吐量,同時降低總體擁有成本。它能夠以可重復的精度測量小特征和復雜幾何形狀。此外，其低損耗光源能夠進行晶圓測量，而不會對設備性能產生負面影響。該設備具有先進的計量能力。它可以測量一系列特征和結構,包括納米結構、臨界尺寸、叠加對齊方式、線寬和形狀。該系統采用多種探測技術獲取高分辨率圖像並進行全面分析。TENCOR 4000 SURFSCAN為制造過程提供靈活、強大的測試和計量。其廣泛的測量能力和高精度使其成為大容量晶圓檢測和表征的理想解決方案。