二手 KLA / TENCOR 4000 SURFSCAN #9157364 待售

KLA/TENCOR 4000 SURFSCAN是一種下一代、最先進的晶圓測試和計量設備。它旨在提供對陣列晶片的快速、精確和自動化檢查,從而實現過程監控、缺陷管理和提高產量。該系統由輕量光學顯微鏡子系統、聲學成像子系統和圖像處理子系統組成。Surfscan的光學子系統使用了先進的成像能力，以允許進行高分辨率缺陷檢查和多放大倍數的尺寸/形態測量。該設備利用暗場和亮場顯微鏡特性以及可選的紫外線照明，實現了廣泛的晶圓檢測應用。它能夠精確地檢測和成像圖案化晶片上的亞微米級缺陷。KLA 4000 SURFSCAN的聲學成像子系統利用激光聲學顯微鏡在廣泛的晶圓尺寸和厚度範圍內提供非破壞性焦特征。這一特性對於檢測超低k電介質中的缺陷和檢查晶片深處的埋層特別有用。聲學成像子系統能夠檢測到300 nm至10微米的特征大小，並對類似特征和各種缺陷類型進行高度區分。Surfscan的圖像處理和分析子系統利用先進的算法來執行自動圖像分割、模式識別和圖像分類。它還具有檢測已定義進程內的變化、識別模式和表征各種晶圓特征和缺陷的能力。圖像處理和分析機的設計旨在詳細概述晶片在初始檢查和晶片運行時監控過程中的特性。這樣可以快速進行故障排除,並允許快速接受產品。TENCOR 4000 SURFSCAN為晶圓測試和計量提供了高效、經濟高效的解決方案。它結合了先進的成像能力、聲學成像以及圖像處理和分析能力，能夠以高精度和準確度檢測和表征各種缺陷。此工具非常適合晶圓測試、過程監控和缺陷管理,允許制造商在降低成本的同時提高產量。