二手 KLA / TENCOR 4000 SURFSCAN #9160808 待售

KLA/TENCOR 4000 SURFSCAN是一種自動化晶片測試和計量設備，設計用於檢查半導體晶片的物理缺陷、電氣短路和參數合規性，以降低制造成本和提高產品質量。它采用了激光掃描、光學散射、磁光剖面測量、散射測量和二維圖像傳感器計量等多種技術。該系統集成了各種自動化技術，如機器視覺、機器人技術和過程控制，以準確高效地測量晶圓層的電氣特性、線寬、厚度等特征。集成單元還包括高速掃描、高級軟件控制以及設備測試和檢查能力。Surfscan 4000機器包含多個硬件組件,其中包括一個自動探測站,用於快速、準確地測試晶片。該工具還包括掃描激光幹涉儀（SLI）、電氣測試夾具（ETF）、專用相機和分析處理器等幾種數據收集儀器，用於分析收集到的數據。該資產還包括允許準確復制測試過程的過程控制軟件,以及支持錯誤檢測的軟件功能。Surfscan 4000的光學型號還包括幾個組件，如反射輪廓照明設備（RCIS），它沿晶圓表面提供了一個均勻可調的照明場。這使系統能夠精確測量曲面輪廓、線寬、角度測量、CD非均勻性和其他特征。該單元被設計用於任何類型的晶圓，從矽，到砷化氙，以及其他材料。Surfscan 4000能夠測量和評估復雜的晶片結構，包括3 D結構，適用於成本效益高的晶片檢查。該機器還可以配置用於單個晶片和批處理。它可用於大批量生產線的檢驗，能夠提供高性能、高精度的結果，可用於質量控制或研發。總體而言,KLA 4000 SURFSCAN是一種先進的自動化晶圓測試和計量工具,旨在降低制造成本並提高產品質量。它能夠對電氣特性、線寬、厚度和其他功能進行快速、準確和可重復的測量,以確保晶圓的組件滿足行業和客戶的要求。