二手 KLA / TENCOR 4000 SURFSCAN #9205755 待售
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KLA/TENCOR 4000 SURFSCAN是一種先進的晶圓測試和計量設備,設計用於提供半導體工業中使用的晶圓的精確地形測量。SURFSCAN系統利用主軸電機驅動級完美對齊和移動晶片,同時采用高度先進的計量算法精確測量晶片的地形和形狀。SURFSCAN的先進光學單元包括一個照明的倒置顯微鏡、4個數字信號處理器、一個LED照明,使顯微鏡能夠精確檢測和測量表面缺陷。采用不銹鋼參考球,保證測量的準確性和一致性。在測量過程中,SURFSCAN配備了先進的高速CCD攝像機和閃光燈,用於捕捉晶圓表面的詳細圖像。它具有可變掃描速率,可以根據晶圓的大小和應用程序的具體要求量身定制。晶圓地形數據存儲在內存中,可以發送或與其他設備共享。SURFSCAN中采用的計量算法能夠在人工測量通常需要的一小部分時間內進行全面的表面分析。該機可提供標準參數如均方根(RMS)粗糙度、峰谷粗糙度、線寬等的詳細分析。SURFSCAN易於使用和維護。它具有高級用戶界面功能,可以輕松導航和控制所有參數,從掃描速度到測量模式。全自動操作需要最少的操作員幹預,並且使用自動校準程序快速校準工具以獲得精確、可重復的結果。KLA 4000 SURFSCAN是一種高度精確和先進的晶圓測試和計量資產。其先進的光學模型和先進的計量算法使晶圓能夠精確可靠的地形測量。它快速、高效、易於使用和維護,是評估半導體工業中使用的晶片質量的理想選擇。
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