二手 KLA / TENCOR 4000 SURFSCAN #9229798 待售

KLA/TENCOR 4000 SURFSCAN是一種功能強大的晶圓測試和計量設備,在緊湊的封裝中提供高精度和穩定性。該系統由梯形成像單元、電動采樣級、四個輻射通道、高精度光學激光幹涉儀和集成信號處理與控制組成。梯形成像機允許對各種樣品類型進行快速和精確的掃描，包括裸片、凸塊粘合晶片、雙晶片堆棧和多層設備。該工具使用準直器/可編程快門光圈掩碼與一系列高分辨率CCD攝像機相結合，以獲取特征結構的詳細圖像，用於評估和比較。電動采樣臺能夠進行精確和可重復的X/Y/Z運動，為精確的晶圓級測量提供了絕佳的平臺。X/Y運動由步進電機驅動,並且重叠,從而實現快速且可重復的掃描過程。Z運動由直流電動機驅動,允許Z聚焦,以確保間隙和其他三維測量的最高精度。內置集成激光幹涉儀，可調節X/Y平面的樣品高度。資產的運作方式是將來自四個不同輻射通道的輻射結合起來：可見波長光譜、近紅外光譜、紫外線光譜和紫外線/THz光譜。這種輻射源的組合可以精確地測定晶圓地形，以及評估缺陷和模具性能。輻射通過樣品成像模型組合到樣品上，然後反射回傳感器。KLA 4000 SURFSCAN晶片測試和計量設備提供了對裸片和凸片樣品的準確、無損分析。通過將輻射源和光學幹涉測量相結合，該系統能夠獲得模具和結構的全面、高分辨率圖像。該裝置的設計還便於與自動化處理系統集成，以便在處理大量晶圓時高效利用資源。因此，它是半導體制造工業中故障分析和工藝控制的絕佳工具。