二手 KLA / TENCOR 4000 SURFSCAN #9248058 待售

KLA/TENCOR 4000 SURFSCAN是為微電子制造過程控制而設計的綜合性晶圓測試和計量設備。該系統基於四單元光學和幹涉成像原理，實現了高精度的表面成像和小特征的計量，用於分析和控制。該單元的光學平臺通過各種顯微鏡物鏡和激光束獲取晶圓的多個圖像，從而實現3D計量和自動缺陷檢測。通過明場、暗場、散射和總激光強度顯微鏡，KLA 4000 SURFSCAN可以檢測單個原子水平上的缺陷和異常。它還具有測量和記錄不同深度的薄膜厚度和臨界尺寸等參數以進行工藝控制的能力。機器以納米級分辨率自動表征、分類和測量整個晶圓上的缺陷。其高吞吐量允許快速高效地診斷晶片,使制造商能夠快速識別、分析和解決與過程相關的缺陷和異常。此外,該工具還具有各種數據分析軟件包,包括一套高級報告編寫應用程序,用於快速生成詳細、全面的報告。TENCOR 4000 SURFSCAN提供一系列自動化和手動晶圓測試和分析功能。它的高級階段自動化和自動化處理資產允許自動晶片加載、卸載和定位。該模型還利用了廣泛的硬件功能，如其雙激光成像設備、6軸電動級和自動晶片交換，用於精確的晶片處理和定位。其集成的運動控制系統使晶圓掃描和步進重復操作能夠在其他計量或檢查系統上精確定位晶圓。4000 SURFSCAN設計用於測量和控制用於過程控制的各種表面參數。其先進和專有的基於晶片的成像功能允許對防反射塗層、化學機械拋光、多邊形形狀、平坦度和曲率參數、光刻配準精度以及其他大面積測量進行表面檢查。該單元具有廣泛的缺陷檢測設置,包括自動搜索、報告、掃描區域、關鍵尺寸和缺陷大小,以提供全面的缺陷分析。該機器完全符合全球行業標準,並具有許多可選功能,包括軟件宏和圖像分析軟件。它具有極好的抗振性，設計為在具有ISO 5分類的潔凈室中運行。該刀具為最高精度和可靠性而設計，適用於高精度生產線。