二手 KLA / TENCOR 4500 / 5500 SURFSCAN #9105698 待售

KLA / TENCOR 4500 / 5500 SURFSCAN
ID: 9105698
晶圓大小: 6" - 8"
Particle inspection systems, 6" - 8" 4500: up to 6" at .21 micron 5500: up to 8" at .20 micron.
KLA/TENCOR 4500/5500 SURFSCAN是一種最先進的晶圓測試和計量設備,為分析電氣、光學和化學參數提供業界領先的精度和分辨率。用於檢測和監控半導體晶片、薄膜基板、掩模和光掩模上的缺陷。KLA 4500/5500 SURFSCAN系統在各種測試和計量過程中提供了強大的應用程序,包括自動晶圓映射、缺陷檢測、深入分析以及缺陷審查和分類。該設備可以配置有光學、電氣或化學測試選項,以便在一系列應用程序中提供通用性能。TENCOR 4500/5500 SURFSCAN機的高端光學測試設備采用先進的算法來檢測晶圓的整個表面,檢測比市場上任何其他技術都更精細的缺陷和特征。此外,它還提供了一種電氣測試工具,其中包含各種用於測量有源結構的電特性的探針。資產還可用於高級計量目的,如掃描和成像晶圓的表面特征。此外,4500/5500 SURFSCAN模型提供了許多有助於缺陷審查和特征分析的功能和工具。例如,掃描和審閱模塊提供縮放功能,使用戶能夠檢查到像素級別的特征。此外,該設備能夠自動生成缺陷報告和分析,以便對晶圓進行詳細的數據分析和比較。KLA/TENCOR 4500/5500 SURFSCAN提供了優化晶圓設計、提高制造產量、提供快速、全面檢測能力的尖端技術。KLA 4500/5500 SURFSCAN具有強大的性能和先進的功能,是高級晶圓測試和計量應用的理想選擇。
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