二手 KLA / TENCOR 4500 SURFSCAN #293605541 待售

ID: 293605541
優質的: 1987
Wafer inspection system 1987 vintage.
KLA/TENCOR 4500 SURFSCAN是一種晶圓測試和計量設備,非常適合在半導體織物和其他晶圓密集型環境中使用。該系統為表面形態分析和薄膜厚度測量提供了獨特的功能,使工藝工程師和產量管理人員能夠快速準確地了解其產品質量。基於非常成功的4500平臺的KLA 4500 SURFSCAN提供了一個無損光學表面測量單元,專門設計用於表征測試晶片的整個表面。本機測量表面輪廓及步高、粗糙度、弓形、扭曲等參數,深度分辨率優於1納米。該工具還能夠在光刻膠和金屬以及氧化物和氮化物上測量高達400 nm的薄膜厚度。TENCOR 4500 SURFSCAN設計為高度用戶友好,具有專用的操作和質量保證模式。用戶控制軟件與晶圓計量資產的無縫集成,在不犧牲準確性和性能的前提下簡化了操作。它提供了各種各樣的用戶反饋選項,以幫助實時優化流程參數。這包括實時SPC趨勢數據和視覺效果、晶圓測量和自動化過程算法。除了該型號的性能外,還設計了4500 SURFSCAN,以實現最佳的可靠性和可重復性。該設備具有耐溫耐振性能,具有較強的長期性能設計。它還提供主動監控和診斷以防止任何晶圓測量錯誤,並有內置的校準程序以保證準確性。KLA/TENCOR 4500 SURFSCAN是一款功能強大的系統,它結合了出色的設計精度、準確性和可靠性。流程工程師和生產管理人員可以使用直觀的界面,快速準確地了解其產品質量。此單元是任何晶圓密集場景的完美解決方案,可提供高性能、可靠的結果以及經濟高效的方法來優化過程參數並獲得產品質量洞察力。
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