二手 KLA / TENCOR 4500 SURFSCAN #293627875 待售

KLA/TENCOR 4500 SURFSCAN是一種針對半導體制造商的精密計量和晶圓測試設備。它用於測量、分析和評估生產晶片的厚度、表面平坦度和步高等關鍵尺寸。該系統旨在向操作員和工程師提供實時反饋，以保持晶圓質量並確保嚴格的過程控制。KLA 4500 SURFSCAN使用先進的顯微鏡技術對表面進行高分辨率3D分析。它利用壓電掃描儀快速準確定位，以及明亮的白色光源照射樣品。這樣可以在測量和評估樣品特征時實現亞納米分辨率。該單元能夠檢測和測量小至200 nm的特征。TENCOR 4500 SURFSCAN能夠生成幾種不同類型的晶圓圖和地形數據。其中包括顯示整個樣本曲面的基本映射,以及更精細的不規則性和3D曲面輪廓的詳細映射。這使得查找和識別風險或關註度最高的區域變得容易。該機器還配備了一系列統計分析工具，使用戶能夠快速生成數據，如CD統計數據、自動聚焦綁定和晶圓級地圖。此數據可用於將晶片與一組CD均勻性規範進行比較並識別異常值。4500 SURFSCAN工具能夠保存和導出數據以進行進一步分析或質量控制。該資產還可用於在滿足外部參數（如某個功能超過某個閾值）時生成實時「警報」。這提供了近乎實時的反饋,允許制造商在必要時立即采取糾正措施。綜上所述，KLA/TENCOR 4500 SURFSCAN是一種功能強大的工具，可以用來以極高的精度測量和檢查晶片，以確保嚴密的過程控制和晶片質量。該模型能夠生成詳細的數據集、映射特征和異常,以及將數據導出到第三方分析工具或質量控制系統。