二手 KLA / TENCOR 4500 SURFSCAN #293824952 待售

KLA/TENCOR 4500 SURFSCAN是一種先進的晶圓測試和計量設備。適用於高精度、高通量的薄膜厚度、晶圓地形和其他關鍵幾何參數的測量。該系統包含一個掃描電子顯微鏡（SEM）和一個集成橢圓儀，允許同時測量所有臨界晶圓表面參數。集成軟件包支持高級計量功能,使用戶能夠快速準確地分析數據並識別薄膜不連續性和顆粒汙染。KLA 4500 SURFSCAN掃描速度快，測量範圍廣，適合各種晶圓測試應用。該設備利用先進的12位電荷耦合器件（CCD）相機進行高分辨率成像和分析,以及適用於特定應用的各種附件。機器可以測量各種晶圓參數，包括晶圓拓撲、氧化物厚度、蝕刻深度等關鍵幾何形狀。集成軟件包使用戶能夠輕松評估層曲面的對稱和均勻性，並提供信息的圖形顯示。該工具還具有內置的粒子分析器軟件包,用戶可以快速分析進入的晶片是否存在顆粒汙染。集成粒子跟蹤軟件能夠檢測尺寸小至1微米的粒子。粒子分析包包括圖像存儲和高級模式識別算法，以減少粒子誤報。TENCOR 4500 SURFSCAN是一種用於表征臨界晶片參數的優秀計量和成像工具。它專為高級計量應用而設計,例如瞬態和不變結構的超高分辨率3D成像。4500 SURFSCAN可以測量表面地形和晶圓厚度等參數，使用戶能夠對晶圓狀態進行快速準確的評估。集成的粒子分析包有助於確保晶圓測試的最高精度和產量。