二手 KLA / TENCOR 4500 SURFSCAN #69242 待售

KLA/TENCOR 4500 SURFSCAN是一種晶圓測試和計量設備，提供一流的檢驗和計量性能能力。該系統將高速陣列晶片檢查和缺陷審查、特征3 D測量、形狀測量和輪廓映射以及在線審查結合在一個單元中。KLA 4500 SURFSCAN建立在最先進的多任務、多線程體系結構上。4500機器為優化晶圓質量控制提供了更強的性能。它在前端加載和卸載方面都實現了真正的自動化,從而實現了可重復的準確性和更高的吞吐量。該工具還為計量提供了可重復的自動化性能,確保了一致性的可重復精度。TENCOR 4500 SURFSCAN利用強大的資產體系結構實現高速性能。例如,它可以以高達5.2 MPixels/sec的掃描速率每小時提供多達20個晶圓。高級檢查功能允許在狹窄空間、小缺陷、拐角圖案和柵極長度上提供更精細的細節。該模型還通過其復雜的模式匹配功能提供高級模式識別。在計量方面,4500 SURFSCAN具有高速3D測量、輪廓映射形狀測量、散射測量和反射法。通過其板載計算機，它可以生成功能齊全的結果，審閱數據，並快速生成報告。KLA/TENCOR 4500 SURFSCAN采用工業機器人協議（IRP）構建,提供全自動端到端晶圓處理。該設備具有獨特的人體工程學設計，方便直觀的用戶訪問。系統直觀的軟件設計為簡單操作提供了易於使用的界面。KLA 4500 SURFSCAN通過一整套面向機器的工具提供自動化的單元操作。自動化工具（如Analyzer Tool Suite、Standards Manager和Defect分析）使用戶能夠定義關鍵步驟並減少動手操作時間。該工具還具有安全的工作環境,包括數據存儲、備份和恢復。TENCOR 4500 SURFSCAN為最終用戶提供了多種優勢,例如提高了可靠性、可重復性和吞吐量。其先進的功能使其成為亞微米計量和缺陷審查中高性能質量控制的理想解決方案。它是晶圓測試和質量控制應用的可靠、全面的資產。