二手 KLA / TENCOR 4500 SURFSCAN #9167686 待售

KLA/TENCOR 4500 SURFSCAN是一種健壯的晶圓測試和計量設備，專為各種先進的半導體工藝應用而設計。強大的工具提供晶圓地形和缺陷檢測的高速分析，以提高芯片性能。此自動化系統利用高級分析和成像技術快速識別和表征表面特征,如小參數缺陷、顆粒汙染物和粗糙度。KLA 4500 SURFSCAN配備了幾種專門的固定式光學器件，可同時對多達四個測試樣品進行測試。它具有高動態範圍的光學組件,可提供高達25 nm的深度分辨率,並具有寬廣的視野,可以快速準確地進行分析。該測試單元非常適合測量晶片的電氣、光學和機械性能,以提高可靠性和性能。Surfscan 4500具有自動盤櫃控制功能；全自動邊緣檢測機；包括暮光和相移照明在內的多個入射角；高速、高分辨率成像；自動缺陷大小化；和自動缺陷分類。該軟件包還包括包括CD-SEM、WFE-OV、XT、CD-TOPO、AF-MAP、OV-WFE和X-TEEM在內的廣泛的分析庫,以幫助檢測和表征表面和地下缺陷。為了確認缺陷，Surfscan 4500可以連接到多種二次測試系統，包括掃描電子顯微鏡、原子力顯微鏡或自動光學檢查系統。4500軟件還設計用於報告可用於趨勢分析的數據,用於高級過程控制。該工具生成的數據也可以鏈接到以前分析運行的歷史數據，以便於監測過程參數的各種變化。Surfscan 4500是一種可靠且耐用的資產,采用模塊化結構構建,便於維護和I/O連接。憑借其先進的分析技術和自動化測試能力，這種高效的模型是自動化晶圓測試和計量的重要工具。