二手 KLA / TENCOR 4500 SURFSCAN #9229796 待售

KLA / TENCOR 4500 SURFSCAN
ID: 9229796
晶圓大小: 6"
Unpatterned wafer inspection system, 6".
KLA/TENCOR 4500 SURFSCAN是一種最先進的晶圓測試和計量設備,旨在為晶圓檢測和計量提供最高水平的性能和準確性。KLA 4500 SURFSCAN具有廣闊的視野、150 mm、200 mm和300 mm光學器件的組合以及可實現的最高分辨率和最新的高級軟件控制功能,是要求最苛刻的表面表征應用程序的理想選擇。TENCOR 4500 SURFSCAN的核心是一個大場、高通量光學顯微鏡(HTOM),旨在提供最高精度和速度水平。該系統具有大視野、150 mm、200 mm和300 mm光學元件的組合以及一系列對比度模式。該單元每次運行可同時捕獲15個晶片,並可一次對多個晶片提供強大而準確的表面分析,無需停止和重新定位樣品。通過利用最新的先進校準方法,該機能夠精確測量從初始校準到4-sigma的高度變化。4500 SURFSCAN還配備了先進的軟件控制,旨在充分利用其大視野和令人印象深刻的光學性能。該工具具有直觀的用戶界面,由強大的圖像分析軟件提供支持,可快速處理和生成實時結果。此軟件允許用戶在正常所需時間的一小部分內輕松控制、分析和解釋掃描。除了晶圓成像,KLA/TENCOR 4500 SURFSCAN還提供完整的2D/3D計量功能,包括臨界尺寸掃描和叠加測量。這大大簡化了復雜的設備制造過程,為用戶提供了精確控制關鍵特征(如線寬、溝槽、寬度和高度)的工具。KLA 4500 SURFSCAN憑借其令人印象深刻的「Smartscan」技術,還提供了進一步增強的功能。這一自動化功能可以快速掃描多個晶片,每個晶片多達四個激光器,方便快速準確地檢測微觀缺陷。這得到了自動缺陷檢測軟件的支持,使用戶能夠快速分析大型晶片樣品並識別任何缺陷,使其成為最先進的晶片測試和計量系統之一。總體而言,TENCOR 4500 SURFSCAN提供了無與倫比的性能和準確性級別,使其成為即使是最苛刻的表面表征需求的理想選擇。4500 SURFSCAN具有廣闊的視野、卓越的光學性能、先進的軟件控制和自動化功能,使其能夠更快、更輕松地準確分析曲面,提供前所未有的工作效率和可靠性。
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