二手 KLA / TENCOR 4500 SURFSCAN #9252530 待售

KLA/TENCOR 4500 SURFSCAN設備是半導體工業中用於晶圓校準和測試的晶圓測試和計量系統。該單元為先進節點技術的測量和分析提供了無與倫比的精度和精確度。它采用高速掃描進行連續測量，並利用先進的成像技術準確識別和表征缺陷。機器可以檢測和精確測量晶圓地形和輪廓特征，包括不同的拓撲、輪廓和微觀結構。該工具專為高吞吐量性能而設計。它支持多晶圓同時分析，每點以1-3秒的速度獲取地形測量，這取決於晶圓的大小。還可以在100 μ米的範圍內獲取高分辨率圖像。車載數字視覺有助於檢測小顆粒和其他缺陷。該資產為用戶提供全面的測試選項,並支持晶圓平面度驗證、厚度測量和表面粗糙度測試。其較大的動態範圍允許在200毫米至300毫米的各種晶圓尺寸上進行測量。該模型是專門為精確測量先進節點結構而設計的，如超微米長度的重復結構和薄的多層結構。其他功能包括用於圖像分析的可靠軟件工具,允許輕松檢測和分析關鍵缺陷。設備使用的自動化算法和視覺技術提高了缺陷定位的速度和準確性。該系統配備了用於確定和分類汙染、缺陷、模式識別和其他材料故障的先進能力。KLA 4500 SURFSCAN單元是半導體行業的強大工具。它為先進節點技術的測量和分析提供了無與倫比的精度和精確度，從而提高了產量和工藝控制。它提供了一系列測試選項,並具有大的動態範圍功能和高吞吐量性能,以提高生產環境中的效率。